高溫快速熱處理退火爐

產品型號：NBD-T1100X-RTP

攤位號碼：N-130

產品特色

快速退火爐簡稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），不但擁有非常快的升溫速率，而且在燒結工藝運行完結後，直接將試樣移動至室溫下，實現物理狀態下的快速降溫。設備採用了內管進氣、外管出氣的氣路結構，使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設備。測溫元件直接和試樣接觸，保證試樣溫度的準確性。主要用於： 1.可滿足離子注入後的快速退火； 2.也可用於歐姆接觸快速合金； 3.還可用於矽化物合金退火，氧化物生長； 4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。 ◎具超溫報警、過流保護、斷偶提示 ◎通過 CE認證。 ◎廠牌/NOBODY

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