桌上型雷射直寫設備
產品型號：DaLI
產品分類：雷射直接成像機
廠商名稱：茂太科技股份有限公司
攤位號碼：L-929
產品特色
無光罩雷射直寫設備，是一種通用桌上型系統，適用於所有標準光阻的無光罩光刻。可實現最小線寬達1um及20倍高深寬比結構。其全面的軟體解決方案涵蓋了從設計到曝光的所有步驟，並使 DaLI 成為無光罩光刻工藝的直觀解決方案。 DaLI 使用AOD聲光偏轉器和穩定的的雷射源來曝光光刻結構，無需光罩。 無光罩光刻功能使設計更改變得輕而易舉，因為它消除了樣品與光罩對齊的高度敏感步驟，並在此過程中節省了時間和金錢。DaLI特別適合學術單位、研究單位及公司行號研發單位及實驗室。
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