桌上型雷射直寫設備

 

產品型號：DaLI

產品分類：雷射直接成像機

廠商名稱：茂太科技股份有限公司

攤位號碼：L-929

 

產品特色

 

無光罩雷射直寫設備，是一種通用桌上型系統，適用於所有標準光阻的無光罩光刻。可實現最小線寬達1um及20倍高深寬比結構。其全面的軟體解決方案涵蓋了從設計到曝光的所有步驟，並使 DaLI 成為無光罩光刻工藝的直觀解決方案。 DaLI 使用AOD聲光偏轉器和穩定的的雷射源來曝光光刻結構，無需光罩。 無光罩光刻功能使設計更改變得輕而易舉，因為它消除了樣品與光罩對齊的高度敏感步驟，並在此過程中節省了時間和金錢。DaLI特別適合學術單位、研究單位及公司行號研發單位及實驗室。

 

相關產品

 

• 

  線性模組

• 

  SEM & EDAX

• 

  氟素基板

• 

  Diener 批次式電漿清洗機 TETRA

• 

  IC載板最終外觀自動檢查機

• 

  低溫焊接烙鐵

• 

  VCP掛架即時線上電流監控系統

• 

  活化劑PC-65

• 

  黏紙本置盤

• 

  X-Ray 鑽靶機 (線性馬達型）

 

 

 

回列表