暉盛科技股份有限公司
NANO ELECTRONICS AND MICRO SYSTEM TECHNOLOGIES, INC.
廠商分類：乾、濕製程設備
攤位號碼：M-718
公司網址：http://www.nemstek.com.tw
廠商介紹
暉盛科技擁有優越的技術及堅強的研發團隊，並以先進電漿/等離子體技術為主軸，尖端技術服務為宗旨，開發出以感應耦合式高密度電漿/等離子體（ICP,Inductively Coupling Plasma）與常壓電漿/等離子體（Atmospheric Pressure Plasma）技術為主之多項電極設計與專利。同時成功推出各式真空 / 常壓電漿/等離子體設備。目前各式產品已成功的應用在印刷電路板業、封裝業、半導體業、光電業、3C業、民生工業及生醫領域。
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