自動對位平行光曝光機
產品型號：E2100-5KAC
產品分類：曝光機
廠商名稱：川寶科技股份有限公司
攤位號碼：L-1115
產品特色
-適用於內外層乾膜製程 -高產速每班900~1100pnls(12小時) -高解析度 62.5/62.5μm -平行光5KW單燈光源 -伺服傳動雙框架 -專利高穿透光源 -2CCD/4CCD切換功能 -曝光室自潔淨系統 -對位精度3σ≦20μm -溫/溼度控制系統
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